簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共4筆資料 檢索策略: "趙崇禮".ccommittee (精準) and year="106"


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    1

    交叉多角度單顆鑽石修整軟韌彈性墊之研究
    • 機械工程系 /106/ 碩士
    • 研究生: 李梓豪 指導教授: 陳炤彰
    • 在化學機械平坦化 (Chemical Mechanical Polishing/Planarization, CMP)的製程當中,鑽石修整製通常用來修整拋光墊表面形貌以及維持工作能力,以確保製程中的…
    • 點閱:405下載:4

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    微細發泡射出成形於拋光墊製造及化學機械平坦化應用研究
    • 機械工程系 /106/ 碩士
    • 研究生: 李怡萱 指導教授: 陳炤彰
    • 本研究主要為結合超臨界微細發泡射出成形技術(Microcellular Injection Molding, MIM)與化學機械平坦化製程(Chemical Mechanical Planariza…
    • 點閱:305下載:23

    3

    紙漿複合材料之射出模造成形與機械性質分析研究
    • 機械工程系 /106/ 碩士
    • 研究生: 李嘉誠 指導教授: 陳炤彰
    • 本研究探討不同紙漿複合材料(Pulp composites material)之材料配比對於熱性質、流動性質與射出模造成形試片與成品之機械性質的影響,並找出最佳材料後,以不同之製程參數進行全因子射出…
    • 點閱:203下載:21

    4

    Study on Diamond Dressing for Non-Uniformity of Pad Surface Topography in CMP Process
    • 機械工程系 /106/ 博士
    • 研究生: Quoc-Phong Pham 指導教授: 陳炤彰
    • 化學機械平坦化/拋光(CMP)製程已被廣泛用於製造積體電路(IC)。為了使製造IC的成本降低,晶圓的尺寸越來越大,CMP製程就需要使用夠大的拋光墊。較大的拋光墊尺寸會導致在CMP製程中,拋光墊表面形…
    • 點閱:252下載:14
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